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第840章 等等!我可能有办法(3/5)

得有些蒙蔽,什么都加双氧水是吧?

    “这一步,双氧水的易分解特性,产生的气泡对硅片起到漂洗作用,能够更干净的除掉银单质和银离子,同时银离子和双氧水生成的氢氧化银不稳定,容易分解生成水和氧化银,也能有助于沉积的银离子的去除。”

    这么短的时间里,唐少辉和搞化学的同志,考虑不到这么深远,所以高振东干脆把他们这个短板补上。

    唐少辉麻了,好吧,听起来好像也很有道理的样子。

    “你刚才提到的扩孔阶段反应速度过快,容易造成凹孔过大,反而反射率会上升,这个问题啊,你们还是加双氧水,因为这一步不只是氢氟酸这种弱酸,还有硝酸这种强酸,此时,过氧化氢能抑制反应速度。”

    又是双氧水!唐少辉彻底麻了。

    双氧水是万应灵丹是吧?

    高振东补充了一句:“不过你们要注意一点,反射率太小也不是好事,会有热斑效应,反而就把事情办坏了。”

    说到这里,他又想起来一个事情:“对了,如果除泡效果还是不好,你们可以用数万Hz的超声波,每隔一段时间,比如几十秒的样子,去冲击一下硅片,冲几秒就行,具体的时间你们在试验中调整。但是切记,不能连续冲击,会对挖孔和扩孔反应产生影响的。”

    这个好理解,用超声波把硅片抖一抖,把气泡抖下来,唐少辉在冲击中唯唯诺诺,如实记录。

    至于其他的,高振东没有多干涉,自己手上的工艺文件不见得放到现在是最合适的,解决核心问题就行,其他的还是让同志们在现有环境下自行摸索比较好。

    唐少辉被高振东的双氧水三连给整懵逼了,直到回到实验室,还有点昏戳戳的。

    一位高校支援到课题组来的化学专业的同志,见他回来,兴冲冲的凑上去。

    “唐工,汇报得怎么样?高总工同意我们走沉银这条路子了么?”

    唐少辉点点头:“同意了,并且还给了我几个解决当前工艺问题的办法。来,苟老师,你给看看。”

    这话让苟老师惊喜不已,汇报就汇报嘛,居然还能有意外之喜,说实话,他们就压根没想起高总工还能在化工工艺上给解决问题这个事情,毕竟看起来和高总

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