第一六六八章 万美元一台(2/4)

盯在134nm波长光源的浸没式光刻机上，预测占据全球光刻机技术实力第三位的ASML会率先研发成功制程工艺65nm的浸没式光刻机。

    2002年6月，PGCA半导体公司投资15亿美元建成了一条12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线，其中购买光刻机（20台90nm和40台180nm制程工艺的光刻机）花费6亿美元，占40%；基建成本花费4.5亿美元，占30%。

    当初，GCA生产的90nm制程工艺的光刻机刚问世时，INTEL、IBM、TI、AMD和HP先后从GCA定购了一条价值25亿美元（包括基建费用）的12英寸晶圆、90nm制程工艺的半导体生产线。

    采用BSEC生产的半导体设备建设一条12英寸晶圆、65nm制程工艺的半导体生产线，一般需要20台65nm制程工艺的浸没式光刻机和40台90nm制程工艺的光刻机，按照一台65nm需要1500万美元，一台90nm需要500万美元计算，合计需要5亿美元；按照光刻机占到半导体设备价值的40%计算，设备总价值12.5亿美元；按照基建成本占到总投资的30%计算，需要5.35亿元。

    一条12英寸晶圆、65nm制程工艺的半导体生产线的总投资需要17.85亿美元，其中设备总投资12.5亿美元，这条半导体生产线所需的设备，BSEC如今都能自己生产或能在国内买到，不担心别人卡脖子。

    重生者苦心积虑，前后布局了18年。

    BSEC下辖光刻机半导体研究院、光刻机公司、硅片制造公司、光刻胶公司、刻蚀机公司、离子注入机公司、热处理公司、芯片封装公司和芯片检测公司。

    术业有专攻！

    BSEC当初还将单晶硅、光源材料、激光器、金属材料和光刻气体等243项技术攻关项目，交给了中科院、华清、燕大、哈工大、国科大、华中大学、沪海硅片制造厂、冰城光源材料厂、金城激光器制造厂和金城金属气体生产厂等56家国企和民企，购买对方的专利技术，成立合资公司，同厂家签订了长期供货合同。

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