第一七一九章 一起吃年饭(1/3)

    “董事长，浸没原理虽然是我第一个公开提出来的，但bsec的邓院士和钱所长带领bsec光源研究所，在攻克光刻机光源波长193nm的世界性难题进行了近十年的潜心研究，在我之前就提出来以纯净水作为光源介质的研究新路径，在国际光学和光刻机权威杂志上发表了数十篇有影响力的论文，通过实验论证了浸没原理的可行性，在浸没原理方面的研究成果远远走在了我们和asml的前面，我当时就预感，他们通过纯净水作为光源介质，已经攻克了193nm波长光源的世界性难题，研制成功了134nm波长光源的激光器。”

    林本坚的面色发红，虽然没有有意抄袭bsec专利技术的企图，但在研发的过程中，发现bsec不仅研发成功了浸没式光学系统和浸没式光刻机，还在世界专利局申请了9项技术专利，其中就包括以纯净水作为光源介质的专利技术，他的团队和asml研究所只好硬着头皮继续沿着这条路径研发下去，最后研究成功，还向世界专利局申请了发明专利，但按照专利技术申请的先后顺序，就是侵犯了bsec的专利技术。

    林本坚到如今也不理解，bsec为什么当时不在gca

    euv光刻机公司公开euv激光器之前，对外公布攻克了193nm波长光源的世界性难题？

    “董事长，bsec是去年6月22日在大陆专利局和世界专利局同时申请9项公司发明专利，其中就包括以纯净水作为光源介质的专利技术，如今都处于公示阶段，按照世界专利局的申请流程，要到2006年1月才能批准bsce的9项公司发明专利。我会请普拉多提前向bsec申请以纯净水作为光源介质的专利授权，我们争取2006年5月拿到20台xt

    1400i浸没式光刻机。”

    林本坚也知道孙健旗下的tic是asml的第二大股东，淘宝控股公司是bsec的控股股东，只要孙健点头，一切都好办，但asml生产的浸没式光刻机到货起码要比原计划晚大半年。

    bsec已经提出了专利异议，世界专利局将按照复议程序停止asml提出的浸没式光刻机和浸没式光学系统的专利申请，asml就要停止生产xt

    1400i浸没式光刻机，